电子无尘车间标准要求

　　电子无尘车间有着对噪音的要求、车间内外压差的要求、车间气流满布的要求、车间温湿度的要求、对洁净度的要求、冷负荷要求、对新风系统的要求、抗静电的要求、对新鲜空气的要求等方面的标准要求。

　　1、车间内噪音的要求

　　噪音会对作业员的工作效率和状态产生影响，因此也是首要关键的一环。一般在静止空态条件下要求车间内的噪音标准要在60db以下。

　　2、车间内外压差的要求

　　对于无尘车间而言需要有稳定的气体流动才能做到除尘的目的，因此一定要存在有压差。

　　在车间室内和室外一般要求压差不能小于10pa，在车间内部的洁净区域和非洁净区域的压差则不能小于5pa。

　　3、车间气流满布的要求

　　对于电子无尘车间要求中气流的满布要求是不能忽略的重点。这代表着流动的气体能够覆盖车间内部空间的比例是否足够，是否能做到这个车间内空间的基本覆盖率。

　　对于单向流动的满布率要在40%以上，而垂直流动的要在60%以上。

　　4、车间温湿度的要求

　　车间内部一定要配备有空调净化系统来保障温湿度，还应添加新风系统和超温保护系统以及防低温系统等等设施。

　　5、对洁净度的要求

　　由于生产工艺种类繁多，对洁净度等级要求也不同，高的很高，低的很低。

　　对粒子粒径控制的要求也不同，范围约为0.1~5um；对温湿度控制的要求相对较高，如集成电路前道工序一般要求室内温度基数为22℃（精度±0.1~±1℃）。

　　相对湿度基数为40%（精度±2~±5℃；正压值要求的梯度级别，随着洁净度的变化而从高到低变化，差值5~10Pa。

　　6、冷负荷要求

　　电子行业无尘车间的冷负荷比其他行业的无尘车间大很多，单位冷负荷达400~500W/㎡很常见。由于冷负荷大，一般情况下，冬季也需要供冷，这是电子行业的特点。

　　7、对新风系统的要求

　　电子行业生产工艺过程产生的有害气体种类繁多，且量也大，所以需要的排风量和新风量也大。新排风的节能措施也是行业特点之一，排放前要做处理，使排风负荷环保要求。

　　8、抗静电的要求

　　电子行业生产工艺有抗静电、抗微振的要求，并且大宗气体和特种气体种类多，对纯度和洁净度要求高：

　　9、对新鲜空气的要求

　　补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。保给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。